Русские строят фабрику под 45nm техпроцесс (Russians to build 45nm Fab)

hcube>> Если я правильно помню, то как раз кремниевые заготовки 300 мм у нас делают. И довольно хорошо делают.
Mishka> Мне несколько лет назад попадалась инфа, что брак высок. Про сейчас — не знаю.
Они купили специализированные ИК-спектрометры для контроля водорода, азота, углерода в пластинах и их сортировки. Сейчас вроде как хорошо.

marata> Они купили специализированные ИК-спектрометры для контроля водорода, азота, углерода в пластинах и их сортировки. Сейчас вроде как хорошо.
Тогда, действительно, хорошо.

Bredonosec>> Так разговоры-то шли о том, что не взлетит вообще и всё это невозможно, просто потому, что в россии этого не может быть.. и потому нефиг умничать, открывайте кошельки, покупайте а и б..
Mishka> Да? Где Володя говорил такое? Правильных людей слушать надо.
Как раз от него и не помню
Зато вот разных других стратегов таки было и их имена уж поминалися..

Bredonosec>> каждый мнит себя стратегом видя бой со стороны
Mishka> Ну да, а остальным только остаётся вспоминать про собаку и караван. Пусть на нас лаят. Мы идём на йух!
как пошли с рыжиком?

Bredonosec>> Эт я ап том, что бум надеяться, что таки пойдет в нужную
Mishka> Не надо ждать милостей от природы.
Взять их - наша первичная задача.. Помним, помним. ))
Ток "взять" - это значит делать, а не ждать, пока дядя за лужей (олицетворяя ту самую милость от природы) разрешит нам купить чего-то.

Mishka> Ты представляешь себе 65-45 на базе поюзанной фабрики? Ну-ну. Просто "чистые комнаты" для этого процесса намного чище должны быть, чем для 130. И источники не самое главное. Это проблема решена 20 лет назад. Не слушай Ника, слушай pokos-а и au. С теми источника ещё та морока — из чего непрозрачные маски делать? Ну и проекторы. И как, правильно сказал pokos, цена проектора 99%. А что там осталось с землёй сравнивать?
я всех слушаю,
насчет "намного чище" - новые фильтры поставить? Более мелкодырчатые мембраны в инх использовать?
Маски непрозрачные? дык вроде ж упоминалось, что металл.. а потом зеркалами фокусируется в более мелкое..
То есть, выходит, что собсно проектор и есть основная деталь, которой не хватает?
Остальное - автолинии проверки, контроля, сборки, травления, ........... - могут остаться фактически прежними? источник, как сам говоришь, не проблема, а чистота - фильтры в фву новые?

Mishka> Начни просто с того, что когда растят кристаллы, то электроэнергии должно быть до хрена и она должна быть чистая. А речь идёт о промышленном производстве вафле в 300 мм (так, вроде, по статье).
про кристаллы уже ответили..
а путь - новое не продадут, сильно старое покупать (ака милости от природы) - а смысл, если потребитель за бугром готовое изделие нового уровня возьмет - выброс денег? Просто расслабиться и намазаться вазелином "ой, всё равно мы неудачники и недостойны коптить на свете белом" - вообще идиотизм.

Вот и остается надеяться, что получится у них выбиться.

Bredonosec> Как раз от него и не помню

Володя приводил и приводит довольно разумную программу восстановления в таких случаях. Покупание, кооперация, обучение у них, тому, чего сами делать не можемо. Если аккуратно вспомнить, то советская школа физики была во многом заложена людьми, которые в Англии, германии обучались. А математики ещё и во Франции.

Bredonosec> как пошли с рыжиком?

Мне отвели роль шавки. Так что я не пошёл с караваном.

Bredonosec> Ток "взять" - это значит делать, а не ждать, пока дядя за лужей (олицетворяя ту самую милость от природы) разрешит нам купить чего-то.

Надо активнее лезть. И не только к дяде за лужей. А к другим тоже. И не только покупать. Но и совместно работать, а так же посылать людей учиться.

Bredonosec> я всех слушаю,
Bredonosec> насчет "намного чище" - новые фильтры поставить? Более мелкодырчатые мембраны в инх использовать?

Нет, это не только новые фильтры. Вот строили в Питере для Светланы ещё в 80-х — корпус в корпусе с фильтрацией. Так вот для 130 этих двух корпусов просто не хватает. И фильтры не помогают. Тем более, что место выбрали возле Балтийского вокзала. А там от ж.д. такая пылища, что и три корпуса не помогло бы.

Bredonosec> Маски непрозрачные? дык вроде ж упоминалось, что металл.. а потом зеркалами фокусируется в более мелкое..

Там не просто метал. Блин, нет у меня ребят под рукой, кто этими делами занимался — все в Кишинёве остались.

Bredonosec> То есть, выходит, что собсно проектор и есть основная деталь, которой не хватает?

Самая дорогая.

Bredonosec> Остальное - автолинии проверки, контроля, сборки, травления, ........... - могут остаться фактически прежними? источник, как сам говоришь, не проблема, а чистота - фильтры в фву новые?

На 45 — сухой процесс, pokos сказал же. Контроль важен. Но технологически проще, вроде. Ну и с запасом обычно делаются схемы. Скажем у процов плохие цепи можно рераутить до определённой степени.

Bredonosec> про кристаллы уже ответили..
Bredonosec> а путь - новое не продадут, сильно старое покупать (ака милости от природы) - а смысл, если потребитель за бугром готовое изделие нового уровня возьмет - выброс денег? Просто расслабиться и намазаться вазелином "ой, всё равно мы неудачники и недостойны коптить на свете белом" - вообще идиотизм.

Потому что самим до этого уровня добираться это ещё 10 лет. Если не больше.

Bredonosec> Вот и остается надеяться, что получится у них выбиться.

Если только надеятся — это тупиковый путь.

Mishka> Нет, это не только новые фильтры. Вот строили в Питере для Светланы ещё в 80-х — корпус в корпусе с фильтрацией. Так вот для 130 этих двух корпусов просто не хватает.
Светлана даже 2мкм микросхеиы делала отстойные. Хреново там с культурой производства традиционно. А корпус у вокзала и на 90нм не поканает. Тот пресловутый зеленоградский 45нм-300мм и то под вопросом по вибрации. Рядом ленинградка, а фуры - это всётки далеко не поезда, трясут куда меньше.

pokos> Светлана даже 2мкм микросхеиы делала отстойные. Хреново там с культурой производства традиционно.

Я знаю. Просто обсуждался одно время вопрос где "Самсон" в кристале будут делать. Вот и всплыло.

pokos> А корпус у вокзала и на 90нм не поканает. Тот пресловутый зеленоградский 45нм-300мм и то под вопросом по вибрации. Рядом ленинградка, а фуры - это всётки далеко не поезда, трясут куда меньше.

Ага, начальнику об этом тоже сказали сразу.

Mishka> Нет, это не только новые фильтры. Вот строили в Питере для Светланы ещё в 80-х — корпус в корпусе с фильтрацией. Так вот для 130 этих двух корпусов просто не хватает. И фильтры не помогают. Тем более, что место выбрали возле Балтийского вокзала. А там от ж.д. такая пылища, что и три корпуса не помогло бы.

Э-э, ну тряска - я понимаю, а с фильтрацией-то в чём проблема, пусть даже рядом с вокзалом? Да, пыли там больше, но она же грубая, здоровенная, фильтроваться должна легко.
Тем более что всякое фильтровальное оборудование высочайшего качества сейчас вполне доступно, как на жидкости, так и на газы - Amafilter, например.
Я не знаю, каковы требования именно для чистых цехов, но уж систему грубой фильтрации на тех фильтрах с гарантией сделать можно на ура.

А из жидкой среды их фильтры даже бактерии вылавливают - такие фильтры ставятся на пив- и винзаводах, линии стерильной фильтрации. Продукт после такого фильтра не надо пастеризовать. Картридж меняется раз в недели-месяцы при непрерывном потоке через фильтр (ну, еще их можно промывать-восстанавливать). Стоимости вполне умеренные.

Fakir> А из жидкой среды их фильтры даже бактерии вылавливают
Превед! Узнай размеры бактерии. Сравни с 45нм.

pokos> Поясняю ищо рас. Фабрика на 45нм - это охереть какой технологически сложный комплекс производств. Причём, сложности там буквально на каждом шагу. Источник - это херня на постном масле по сравнению, хотя бы, с системой очистки воздуха.
pokos> И рассказывать сказки про совецкие 45нм можно кому угодно, только не мне.

Поэтому видимо с европейцами и скооперировались. Наши ученые слабали пригодный для промышленности 45нм проектор. В это я вполне могу поверить, т.к. мы имеем вполне мирового уровня полупроводниковую и ядерную физику и химию. Так что если Ливеромор смог сделать субрентгеновский источник, то и Саров наверно тоже мог бы что-то подобное родить. А далее наши сделали вполне правильную вещь: вместо того, чтобы тупо сидеть на этих разработках и уныло вещать о не "имеющих аналогов" и о поддержке отечественной науки, вышли с предложением к ситрониксам, что мы им даем эту разработку, а они нам строят под это дело завод и в результате мы вместе юзаем 45нм прямо сейчас, а не тогда, когда американцы наиграются. Вполне взаимовыгодный совместный бизнес.

U235> ...Наши ученые слабали пригодный для промышленности 45нм проектор.
Не проектор, а источник. Comprenez-vous?
Похожий источник стоял на Микроне ещё в 1993-м году. Однако, ниже 0,6мкм спуститься нашим товарищам так и не удалось. Потому что окромя источника там ещё песец как много чего надо.

Fakir> ...какие фильтры есть и абсолютно доступны, в куче вариантов, потому что на них есть спрос....Это не значит, что нельзя сделать фильтры лучше.
Т.е. раз абсолютно доступны фильтры на 1мкм, то на 10нм они всего лишь в 100 раз недоступнее?
Вот это истинно антиресная логика.

U235>> ...Наши ученые слабали пригодный для промышленности 45нм проектор.
pokos> Не проектор, а источник. Comprenez-vous?
pokos> Похожий источник стоял на Микроне ещё в 1993-м году. Однако, ниже 0,6мкм спуститься нашим товарищам так и не удалось. Потому что окромя источника там ещё песец как много чего надо.

Так ведь в ссылке о работах новосибирцах вроде говорилось и о чём-то, пожем на проектор?

Fakir>> ...какие фильтры есть и абсолютно доступны, в куче вариантов, потому что на них есть спрос....Это не значит, что нельзя сделать фильтры лучше.
pokos> Т.е. раз абсолютно доступны фильтры на 1мкм, то на 10нм они всего лишь в 100 раз недоступнее?
pokos> Вот это истинно антиресная логика.

Не надо приписывать мне утверждения, к-х я не делал.
По существу лучше бы чего сказали. Если имеете что сказать, конечно, а не просто пофлудить зашли. Каков спектр размеров пылевых частиц в воздухе, какие требования к очистке воздуха и системе фильтрации.

Fakir> Так ведь в ссылке о работах новосибирцах вроде говорилось и о чём-то, пожем на проектор?
А нужно не похожее, а проверенное на крупных сериях. Люди в Ситрониксе на экскременты ставить собираются, а 25 арбузов грина окупать и прибыль иметь.

Fakir> Каков спектр размеров пылевых частиц в воздухе, какие требования к очистке воздуха и системе фильтрации.
404

Для конкретно микросхемного производства важна концентрация пыли в воздухе. Т.е. стоко-то частиц на кубометр размером х-у мкм. И так специфицируется для нескольких диапазонов размеров. А когда 45 нанометров, то уже х-у нм.
И пылит не только наружа, но и нутро чистых комнат.

U235, не надо распускать нездоровые слухи. Ни о каких российских компонентах, кроме, скорее всего, бетона и арматуры, речи там не идёт.

Fakir>> А из жидкой среды их фильтры даже бактерии вылавливают
pokos> Превед! Узнай размеры бактерии. Сравни с 45нм.

Да, Дима - Покос прав. Суть в стоимости очистки Ты поинтересуйся почему Мезон в Кишиневе расположен там, где он расположен, в Зеленограде (название ничо не навевает? ) модули стоят среди хвойных деревьев, а японцы вааще пытались микросхемное производство на корабли перевести

Ник

Fakir>> Каков спектр размеров пылевых частиц в воздухе, какие требования к очистке воздуха и системе фильтрации.
pokos> 404
pokos> Для конкретно микросхемного производства важна концентрация пыли в воздухе. Т.е. стоко-то частиц на кубометр размером х-у мкм. И так специфицируется для нескольких диапазонов размеров. А когда 45 нанометров, то уже х-у нм.
pokos> И пылит не только наружа, но и нутро чистых комнат.
pokos> U235, не надо распускать нездоровые слухи. Ни о каких российских компонентах, кроме, скорее всего, бетона и арматуры, речи там не идёт.

Пардон, как-то я слабо понял.
Ну, статья 70-х годов. Там говорится, что пылинки размером порядка микрометра в худшем случае.
Меньше, уровня нанометров, по ссылке - только капельки жидкости бывают.

Что пылит м внутренность, тем более если там люди присутствуют - тоже понятно. Что с этим в принципе делают, как борются?
А цифири по допустимым размерам пылинок, конкретики - я пока, пардон, не вижу.
Лишь весьма общие словеса.
Даже никто внятно не сказал, как связаны допустимые размеры пылинок с "калибром нанометра технологии", есть ли разница между пылинками и каплями жидкостей того же размера.

Fakir> Ну, статья 70-х годов. Там говорится, что пылинки размером порядка микрометра в худшем случае.
Если немного потренироваться читать, то можно вычитать, например, "размеры частиц дыма обычно меньше 1 мкм, но в отдельных случаях достигают и 2—3 мкм."

Fakir> Что с этим в принципе делают, как борются?
Изолирующие костюмы. Непылящие материалы. Антистатика. Ламинарный поток из потолка в пол. Циркуляция воздуха с фильтрацией.

Fakir> А цифири по допустимым размерам пылинок, конкретики - я пока, пардон, не вижу.
Там их и нету. Нанометровые частицы в те годы ещё не умели даже измерять.

Fakir> Лишь весьма общие словеса.
Для вводного курса - самое то.

Fakir> Даже никто внятно не сказал, как связаны допустимые размеры пылинок с "калибром нанометра технологии",
Прямой зависимостью. Если на подложку при экспозиции на 45нм прилипает частица 45нм - это очень вероятный локальный брак. Запорет ли этот брак весь кристалл - дело второе. Мишка писал уже.

Fakir> А стоимость стоимостью, но на фоне 45-нм технологии вряд же очистка окажется существенной частью стоимости, тем более - ключевой?
Вообще-то я приводил очистку воздуха как часть, которая сама по себе уже дороже любого источника УФ, не более того.
Если воздухоочистка не обеспечивает требуемую запылённость, то она и есть ключевой вопрос. Сколько она при этом стоит - волнует уже только налоговую инспекцию.

Fakir>> Ну, статья 70-х годов. Там говорится, что пылинки размером порядка микрометра в худшем случае.
pokos> Если немного потренироваться читать, то можно вычитать, например, "размеры частиц дыма обычно меньше 1 мкм, но в отдельных случаях достигают и 2—3 мкм."

А если вы немного примените свою натренированность, то увидите, что это место я предыдущем посте процитировал.
Да, микроны. И?

Fakir>> Что с этим в принципе делают, как борются?
pokos> Изолирующие костюмы. Непылящие материалы. Антистатика. Ламинарный поток из потолка в пол. Циркуляция воздуха с фильтрацией.

Что из этого сложнее всего и дороже всего? Делается ли что-то в России, и насколько сложно производство необходимых компонент?

Fakir>> А цифири по допустимым размерам пылинок, конкретики - я пока, пардон, не вижу.
pokos> Там их и нету. Нанометровые частицы в те годы ещё не умели даже измерять.

Так на кой леший вы мне ту ссылку суёте? БСЭ я и сам пользоваться умею.
Но вы ж говорите, что шарите в проблема 45-ти нм технологии - так и расскажите толком.


Fakir>> Даже никто внятно не сказал, как связаны допустимые размеры пылинок с "калибром нанометра технологии",
pokos> Прямой зависимостью. Если на подложку при экспозиции на 45нм прилипает частица 45нм - это очень вероятный локальный брак. Запорет ли этот брак весь кристалл - дело второе. Мишка писал уже.

Так а с жидкостью что?

И я правильно понял, что необходимо, по сути, обеспечить отсутствие пылинок лишь в области подложки в момент экспозиции?

Fakir> А если вы немного примените свою натренированность, то увидите, что это место я предыдущем посте процитировал.
Не заметил кавычек чото. Видимо, надо ещё тренироваться.

Fakir> Да, микроны. И?
Тренируйтесь читать ищо.

Fakir> Что из этого сложнее всего и дороже всего? Делается ли что-то в России, и насколько сложно производство необходимых компонент?
Не знаю. Я не настольк знаком с производством фабрик микросхем.

Fakir> БСЭ я и сам пользоваться умею.
А чош не воспользовался-то?

Fakir> Но вы ж говорите, что шарите в проблема 45-ти нм технологии - так и расскажите толком.
Что конкретно рассказать?

Fakir> Так а с жидкостью что?
С жидкостью и легче и труднее. Зависит от того, смачивается жидкостью та или иная поверхность или нет. Но капель жидкости в очищеном воздухе гораздо меньше, чем пылы.

Fakir> И я правильно понял, что необходимо, по сути, обеспечить отсутствие пылинок лишь в области подложки в момент экспозиции?
Неправильно. Необходимо обеспечить отсутсвие пылинок на подложке во время экспозиции.
Это также не значит, что например, во время эпитаксии или окисления пылинки безвредны.

Татарин> Народ упорно не понимает, что это не некий "набор станков", а система....
Кстати, квалифицированный персонал в эту систему тоже входит.