В тех лабораториях, в которых я работал, источник сжиженного воздуна/азота/кислорода были ... дьюары
Привозили с кислородных заводах.
А так, есть два метода. Первый - высокого давления, Линде. Он - с поршневым детандером.
И второй - метод Капицы. Он - низкого давления, с турбодетандером.
Но оба метода основываются на сжатие и охлаждение воздуха компрессором (в случае цикла Капицы - 5...15 атмосфер, у Линде - больше - 150).
Дальше следует расширение в детандере. При этом воздух охлаждается. Часть его направляют на охлаждение сжимающегося на входе воздуха, а вторая часть ожижается. И начинает кипеть.
Ректификационной установкой воздух разгоняют на азот и кислород и получают их газообразными. Потом следует еще и кислород ожижить, если нужен он. Для этого понижают давление над жидким воздухом, он начинает кипеть и охлаждается до температуру меньше, чем температура кипения азота/кислорода.
Или, второй вариант - кислородный компрессор и детандер. С регенеративными (все теплообменники в этих установках регенеративные) теплообменниками.
Если объемы птоизводства большие, предпочитают второй метод. Если маленькие - первый.
Правда, есть еще один метод - разделение воздуха на мембранах. Красиво - мембрана пропускает азот и задерживает кислород.
Но - дорого и нельзя получить на самом деле серьезные колличества. Используется для получения сжатого кислорода и азота в средных масштабах. В цехе и такая установка была, так что щупал.